拜耳过滤器如何制造？

继先前有关拜耳过滤器的问题之后，我很想知道：

它们实际上是如何制造的？他们如何将如此少量的染料施加到每个子像素？

我最好的猜测是某种基于光学的化学蚀刻，然后进行染浴...（每种颜色）

从本文的摘要中获得用于CCD和CMOS图像传感器的彩色滤光片阵列，使用化学放大的热固化预染色正性光刻胶进行365 nm光刻

重氮萘醌-线型光刻胶用于通过依次沉积和图案化每个彩色层来生产这些滤光片。

我对这句话的理解是，过程如下

1. 带有添加染料（红色，绿色或蓝色）的光致抗蚀剂（一种聚合物和敏化剂，在可见光中相对透明，但在450nm处的紫外线中强烈吸收）沉积在传感器表面上
2. 将金属图案化的掩模放在光刻胶上
3. 光刻胶的未掩膜区域由紫外线光源曝光，重氮萘醌在其上转化
4. 面膜被去除
5. 曝光的光致抗蚀剂用水性溶剂溶解，未曝光的区域不易溶解，因此残留
6. 使用不同的染料和不同的蒙版重复1-5

有关该光刻胶的工作原理，请参见en.wikipedia.org/wiki/Diazonaphthoquinone。