什么是“风险晶圆”?


13

在集成电路制造中,我遇到了“风险晶圆”一词,该术语似乎与“普通”晶圆不同。但是我无法在线找到有关风险晶片真正是什么的任何信息。

Answers:


17

将设计发布到生产中时,即流片,断裂(掩模制作)然后开始批量生产,正常的情况是,开始生产的ES(工程样品)批量小于完整生产批量(25)的大小。该ES批次取决于制造厂,但通常为12个左右。然后,您可以在过程中的各个点放入晶圆托。您从12个晶片开始,但三个晶片被固定在注入中,然后另外3个晶片被保持在栅极多晶硅蚀刻上,然后另外3个晶片被保持在金属1上,从而使最后的3个晶片进入最终步骤。

这样做的目的是,如果您在各个步骤中都发现问题,则可以纠正问题,然后重新启动这些滞留的晶圆,而不会造成长时间的延迟。同样,对于报废的晶圆厂25晶圆来说,这毫无意义。

您永远不能只持有1个晶圆,因为许多处理步骤一次只能处理多个晶圆(例如6、3或4),因此,如果仅停止一个晶圆,则必须更换具有类似功能的“虚拟”晶圆处理放入它的地方。晶圆厂不喜欢浪费废料的生产能力。

每个停靠点所保持的数量将取决于机器(该机器中心的3个晶片或4个晶片等)。

您提到的“风险晶片”可能是第三个批次,通过ES在多个地点停下来或保持着该批次中其他晶片的位置。通过第一个是远“风险”。存放在各个位置的晶圆可能没有那么危险,因此它们可能不被视为有风险的晶圆。尽管有些晶圆厂确实考虑到了这一点。

最后,在某些晶圆厂中,任何不合格的晶圆运行都被视为风险晶圆。

因此,该术语将取决于您使用的晶圆厂。

@bdegnan的帽子提示指出,在某些晶圆厂中,“风险晶圆”是要求并准予放弃工艺的晶圆。因此,可能要求更改工艺步骤,剂量,或者添加新的骨(尚未通过鉴定),甚至放弃DRC(设计规则检查)。从评论中捕获了这一点。


当我们要求DRC和掺杂摇粒机时,我们会得到“风险晶圆”标签。例如,如果您想在标准CMOS工艺上制造MESFET,那么即使您实际上并没有“违反”任何规则,但最终还是违反了足够多的非关键规则来获取标志。
b degnan '16

@bdegnan您应该添加为单独的答案,我忘了添加该方面。好点子!
占位符

您几乎达到了目标,所以我认为我的勘误表不足以提供正确的答案。
b degnan '16

1
@bdegnan编辑并添加到我的答案中,并附有署名。注释被清除,因此重要信息需要迁移到答案字段中。
占位符

@placeholder:您能解释一下什么是“不合格的晶片运行”吗?
弗里茨
By using our site, you acknowledge that you have read and understand our Cookie Policy and Privacy Policy.
Licensed under cc by-sa 3.0 with attribution required.