当然可以。有许多公司提供这些服务。真正的问题是您是否可以在家中进行此操作。
您可能不需要SEM(扫描电子显微镜)就可以脱身,该设计可以以〜3u的几何形状完成,使用可见光可以想象得到。
您将需要一个潮湿的工作台来蚀刻掉诸如SiO2的HF之类的层,但是您还必须去除Si3N4,SiON和铝。您可能需要干法蚀刻(真空室内的Ar等离子)以去除通孔中的钨塞。
您的主要问题将是测量电阻器和电容器的精确值(如果有)。划定衬底植入物的边界(在潮湿的工作台中用更多讨厌的化学物质装饰)并确定掺杂曲线。可以在SIMS单元(二次离子质谱仪)中轻松获得掺杂分布,但是FEOL(前端生产线)中植入物的一些结构细节可能很微妙。
在被湿蚀刻损坏或减小厚度之前,将需要测量一些细微的厚度。
芯片表面将具有明显的形貌(那时不存在CMP),因此聚焦深度可能会使拍照复杂化。
您不太可能能够获得原始芯片容易获得的确切晶体管特性。您不仅需要了解处理,还需要了解晶体管的物理原理以及不同注入物的作用。
积极的一面是,如果你有多个芯片(你会需要),你也许能够解放访问晶体管,并能够把它放在一个曲线示踪剂直接测量。特征尺寸足够大,作为一个模拟芯片,它可能会有一些大的晶体管。但这并不确定。
另一个好消息是您可以以低成本购买旧的SEM。仅几万美元,即使它们是颗粒状的,该芯片也具有很大的功能。请注意,如果您有一个还可以成像的SIMS单元(它是经过改进的SEM),那么您可能无需复制eqt就可以摆脱困境。