六轴力/扭矩传感器如何工作？

我真的很想为我的机器人安装一个六轴力/扭矩传感器，但我负担不起。我当时正在考虑自己做一个。

我有使用应变仪的经验，但是我不知道如何布置它们以创建六轴力/扭矩传感器。

• 这是我可以使自己成为现实的东西吗？
• 它们如何工作？他们背后的理论是什么？

我很想知道它们是如何工作的，即使自己动手也不可行。

添加：

明确一点，我说的是力/扭矩传感器，例如ATI Nano 17：

我不是在谈论加速度计，陀螺仪或MEMS IMU。

我认为构建这样的东西并不是完全不可能的，特别是如果您已经具有应变仪的经验。我认为最常见的方法是将传感器布置为Stewart配置。关于此的文章很多，例如“基于Stewart平台的6轴力传感器的闭合式力感测”。

Schunk FT Nano的类似传感器在数据表中说：

具有三个测量相位（角度为120°）的整体式元件。每个相都有两个半导体应变测量电桥，可记录微米范围内的变形。